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从不同国家(地区)来看,台湾地区与中国的增长率突出。其中,台湾地区半导体制造设备市场规模比上年增长45.7%,为106.48亿美元,超过日本跃居首位;日本同比增长1.1%,仅为93.1亿美元;中国同比增长26.2%,为29.22亿美元,与欧洲(29.4亿美元,同比下降18.2%)相当;韩国同比增长4.8%,为73.52亿美元;北美同比下降10.6%,为65.48亿美元。
从不同用途来看,前工序(晶圆工艺)设备同比增长11%,后工序(组装和封装)设备同比增长15%,检测设备同比下降21%。