RF放电光源中维持放电的电磁波频率是在无线电波范围内，通常采用的电磁波频率是从几百kHz到十几MHz。这些光源的高频能量通常采用电子器件产生，如电子镇流器、无线电信号发生器等，能量通过感应线圈偶合到等离子体中，维持等离子体放电。目前RF放电光源产品主要有松下的Everlight系列，Philips的QL系列，CE的Cenura系列，Osram的Endura系列。
而微波放电光源采用的激发电磁波的频率为2.45CHz,高频能量是由磁控管产生,电磁波能过波导管传输到特殊设计的谐振腔中,装有放电物质的泡壳就放在谐振腔内, 微波能量在等离子体能高效耦合。目前微波光源的主要填充物质是硫，不需要使用汞，而其连续光谱使得这种光源的显色性能良好，光效也非常高，微波光源具有良好的发展前景。早在1994年美国Fusion公司发明并推出了首个微波硫灯，现在很多公司和研究机构都有自已的产品，如LG，Lawrence Ber-keley实验室，复旦大学电光源研究所等。