光谱光源主要有低压汞灯、低压钠灯、原子光谱灯、氦灯、氢灯、氢弧灯、汞齐灯和微波无极光谱灯等。
原子光谱灯 又称空芯阴极灯，是一种采用空芯阴极放电形式的辉光放电光源。这种灯的阴极制成圆筒形，灯的阴极区发光均匀且明亮。工作时，正离子强烈地轰击阴极，使阴极表面金属溅射，被溅射的原子进入放电区，使灯辐射出金属元素的光谱。如用单一纯金属做成筒形阴极，就可得到该单一元素的光谱。对于价格昂贵、整形加工困难、熔点低、易于氧化的金属，则可用铜和镍作基金属做成筒形,再镶上一薄层所需要的贵金属;也可用嵌入法或蒸膜法等在内筒上加置一定量的所需该金属。对于阴极为多种金属元素的光谱灯，常采用合金阴极或几种单件金属排列在一起的复式阴极。
原子光谱灯的辐射谱线强度大，稳定性高，谱线宽度窄，可用作微量元素的光谱分析、干涉度量的长度标准，也可用来测量波长。这种灯有60余种规格。
氢灯和氦灯 分别为能量辐射稳定的氢光谱（波长431.4nm、486.1nm和656.3nm）和氦光谱（波长706.5nm和 587.6nm）的辉光放电光源。供各种光学仪器如干涉仪、折射仪等作配套件使用。放电管内充有高纯度氢或氦,灯带有能加大贮气体积的附加部分,以维持恒定的气压，从而使放电比较稳定。放电部分制成内径为2～3mm的毛细管，以使辐射光度集中。
氢弧灯 是一种有热阴极的弧光放电光源。玻壳为石英玻璃，内充高纯度氢气，能辐射波长180～400nm的连续光谱。氢弧灯是研究分子结构的基本光源之一。
汞齐灯以汞作基金属,充入适量镉和锌制成的金属蒸气弧光放电光源。除辐射汞的特征谱线外，还辐射位于汞谱线间的镉和锌的特征谱线（波长643.8nm、636.2nm、632.5nm、631.6nm、546.1nm、508.5nm、481.0nm、435.8nm和404.7nm等）。汞齐灯用在分光仪上作波长标定时，不必再用其他单色光源，且能使分光仪的波长标定更为方便和正确。在冶金、医疗、物理、化学测试中得到广泛应用。
微波无极光谱灯 一种利用微波感应无极放电发光的光源。灯内充有几百帕惰性气体和某些易挥发的纯元素或金属和非金属卤化物。其工作频率在10MHz左右,辐射光谱几乎全部是原子线光谱，没有干扰背景。这种灯结构简单，成本较低，性能稳定，使用可靠，是原子荧光光谱分析技术中理想的辐射光谱。